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自從1962年半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世以來，半導體氣體傳感器已經(jīng)成為當今應用zui普遍、*的一類氣體傳感器。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應速度快、壽命長、對敏感低和電路簡單等優(yōu)點。不足之處是必須在高溫下工作、對氣體或氣味的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不理想、功率高等方面。

目前按照氣敏特性來分，主要分為：半導體型、電化學型、固體電解質型、接觸燃燒型、光化學型等氣體傳感器，又以前兩種zui為普遍。

我國這些年工業(yè)發(fā)展迅速，種類逐漸齊全，而物位測量儀表作為工業(yè)生產(chǎn)*的重要儀表，需求量很大。巨大市吸引力也造成了激烈的競爭。雖然目前國內物位儀表生產(chǎn)廠家眾多，但大多是技術含量較低、精度比較低的產(chǎn)品，即便銷量可觀，經(jīng)濟效益也不可觀。怎樣的產(chǎn)品才能有效的占領國內物位儀表市場呢，關鍵在于開發(fā)和生產(chǎn)，的產(chǎn)品。根據(jù)有關機構的調查顯示，在物位測量裝置的選購標準中，zui受人們關注的因素依次是：精度，可靠性，耐久性，操作簡易度，價格，等。很明顯，精度是人們關心的首要參數(shù)。而很多市場預測也驗證...

（1）流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計/質量流量控制器，則一般可以忽略不計。（2）測量控制的自動化質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0...

質量流量控制器（MFC）中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于zui低值（0.1MPa），有可能控制達不到滿量程值;若高于zui高值（0.3MPa），有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內，并且要求氣壓要相對穩(wěn)...